Grating Pitch | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Berfirehkirina Termal | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Resolution | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Repeatability | ±1 zêdebûn | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Leza herî zêde m/min | 60(5μm) ;20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Cureyê derketinê | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Max.Lezkirin | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Parastinî | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Navê min | 60 mA Max | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Veguheztina qonaxê | 90±5 ° elektrîkê | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Germahiya xebitandinê | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Germahiya hilanînê | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Şilî | 100% ne kondensiye |